第1日(2月18日)
1. 概論:薄膜は人類に何をもたらしたか (東京大)深津晋
2. 薄膜の作製と加工:成長技術入門 深津晋
3. 薄膜の評価:研究・開発・製造—何をどう評価すべきか
(富士通研)中村友二
4. 機能・物性の評価:薄膜に求めるものは何か 中村友二
5. 構造評価:ミクロとマクロをつなぐ分析ツール 中村友二
6. デモ実験 & 質問・相談タイム 深津晋・中村友二
第2日(2月19日)
1. 薄膜とバルクの違い:薄膜だからできる 深津晋
2. 特性・信頼性:いい膜と悪い膜は目的に応じて異なる
中村友二
3. 加工技術:ものづくりの要 かたちづくりが死命を制す
中村友二
4. 電子デバイスの薄膜技術:多機能化に向けた最新事情
中村友二
5. 環境・エネルギーは薄膜から 深津晋
6. デモ実験 & 質問・相談タイム 深津晋・中村友二
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